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  • 徠卡離子減薄儀是一種常見的表面處理工具

    更新時間:2023-05-09      點擊次數:308
      徠卡離子減薄儀是一種常見的表面處理工具,基于離子束的物理原理來實現薄膜削減的,它的工作原理主要包括兩個方面。首先,該設備通過電子槍將離子束產生,并將離子束加速到一定能量水平。隨后,離子束進入樣品室,與樣品表面相互作用,產生削減效應。離子束與樣品表面物質相互作用的結果是,在樣品表面形成較淺的傷痕區域,從而減小材料的原始厚度,形成新的薄膜結構。
     
      徠卡離子減薄儀在使用的過程中,需要注意以下幾點:
     
      1.樣品的選擇與準備:由于離子減薄是對材料表面進行加工,所以需要選擇具有一定厚度的樣品,并確保樣品表面光潔、無氧化物和塵埃等污染物。
     
      2.離子束加速:設備中需要設置離子束加速度,以確保離子束產生的動能足夠強大,能夠削減材料的表面。
     
      3.離子束注入時間:需根據所使用離子種類、樣品厚度及所需的削減深度等因素來設置離子注入時間,以確保得到期望的結果。
     
      徠卡離子減薄儀在多個領域都有廣泛應用,包括:
     
      1.半導體工業:在半導體器件的生產過程中,徠卡離子減薄儀可以實現對芯片及其襯底薄膜的加工,可用于改善晶體結構特性或實現制造芯片的厚度。
     
      2.光學制造:可以用于光學元件制造,如光學鏡頭、薄膜濾波器等,以加工出所需的薄膜厚度和形狀,從而實現優良的光學性能。
     
      3.環境科學:可以用于制備各種環境薄膜材料,例如過濾膜、氣敏材料等,以滿足工業、農業、環境保護等領域的需求。
     
      4.用于光學元件(例如透鏡、棱鏡和窗戶等)的精密加工和表面拋光工藝,減少了機械切削和磨削對材料的損傷,使得加工精度更高、表面質量更優。它采用的是離子束刻蝕技術,利用高速離子束轟擊光學元件的表面,使其材料原子產生濺射,然后通過特定加工模式和參數的調節,減薄元件表面或者改變其形狀。其優點是加工速度快、成本低、加工效率高,深刻地改變了傳統的光學加工方式,推進了光學儀器的技術發展。
     

    徠卡離子減薄儀

     

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